Nouvelle méthode pour mesurer avec précision les propriétés mécaniques de MEMS
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Une toute nouvelle technique a été présentée pour la première fois à la Conférence mondiale TechConnect World 2013 par une équipe de recherche du Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE) en France. Les chercheurs pensent que cela aidera les fabricants à améliorer la performance des produits, à développer de nouvelles fonctionnalités, à réduire la consommation énergétique des dispositifs, à répondre aux exigences du marché en termes de miniaturisation et à augmenter la fiabilité des dispositifs MEMS.
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