
L’innovation de la région Franche-Comté se renforce avec le lancement ambitieux du projet SAMI (Senseurs Autonomes pour Monitoring Intelligent). Ce projet résulte d’une collaboration entre SilMach, SUPMICROTECH et l’Université Marie et Louis Pasteur, positionnant Besançon comme un pionnier dans le domaine des capteurs intelligents.
Le projet SAMI, d’un montant total de 6 millions d’euros, est soutenu par l’Union européenne avec 4,3 millions d’euros provenant des Fonds européen de développement régional, via le programme FEDER-FSE+ Bourgogne-Franche-Comté et Massif du Jura 2021-2027, géré par la Région Bourgogne-Franche-Comté.
Le projet SAMI s’appuie sur la technologie ChronoMEMS développée par SilMach. Cette technologie combine micromécanique et fabrication avancée pour produire des capteurs intelligents et autonomes. Ces capteurs sans énergie exploitent la déformation des structures pour détecter et comptabiliser les événements mécaniques. Ils offrent des solutions à bas coût et à faible impact carbone, adaptées à divers secteurs : aéronautique, transports, infrastructures, énergie, santé, etc.
Inspirés de l’industrie horlogère
Les capteurs ChronoMEMS de SilMach sont inspirés de l’industrie horlogère et créés grâce à des systèmes d’engrenages micrométriques et des principes de base de la mécanique tels que la roue à cliquet et le système masse-ressort. Miniaturisés grâce aux technologies de fabrication sur silicium et hybridés avec une interface visible pour l’humain, ces capteurs fonctionnent sans énergie et sont conçus pour détecter et comptabiliser les événements mécaniques.
Ces capteurs polyvalents sont adaptables à plusieurs secteurs : aéronautique, transports, infrastructures, énergie, santé, et bien d’autres. Ils sont conçus pour comptabiliser les dépassements de seuil, assurer une vigilance opérationnelle 24h/24 et fournir des solutions fiables et écologiques pour le suivi en fatigue et la détection d’apparition de seuil.
Un trio d’experts pour une innovation de pointe
Le projet SAMI réunit trois acteurs principaux : SilMach, SUPMICROTECH et l’Université Marie et Louis Pasteur. Ensemble, ils apportent leur expertise et leur technologie pour faire avancer la recherche et l’innovation dans le domaine des capteurs intelligents.
SilMach est le pionnier des MEMS avec sa technologie ChronoMEMS protégée par 68 brevets dans 17 pays. SUPMICROTECH et l’Université Marie et Louis Pasteur participent à ce projet via leur laboratoire commun FEMTO-ST (UMR CNRS) avec l’implication de deux équipes : l’équipe MICRO, spécialisée dans les microsystèmes hybrides, et la plateforme MIMENTO, experte en micro fabrication et technologies MEMS.
Une technologie polyvalente et écologique
Pascal Vairac, Directeur de SUPMICROTECH, affirme que SAMI incarne la vision d’une innovation durable, alliant performance et respect de l’environnement. Macha Woronoff, Présidente de l’Université Marie et Louis Pasteur, souligne que ce projet représente une synergie entre la recherche académique et l’industrie, un modèle d’innovation à la française.
Le projet SAMI vise à développer des capteurs ChronoMEMS génériques, économiques et écologiques, pouvant être utilisés dans de nombreux secteurs tels que les transports, le bâtiment, la santé et l’énergie.
Un boost pour l’industrie régionale
Le projet SAMI aspire à atteindre une maturité technologique (TRL5 à TRL7) en vue d’une production à grande échelle d’ici 2030.
La production de dizaines de milliers de capteurs sera largement automatisée et contribuera à la réindustrialisation de la région Bourgogne-Franche-Comté. Ce projet renforcera le positionnement de la région en tant que pôle d’excellence en microtechniques et capteurs intelligents.
SilMach | SUPMICROTECH | Université Marie et Louis Pasteur
