Lithographie : première validation d’une résine non amplifiée
Technologies
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Par
Daniel Cardon
D’abord pré-évaluée sous simple faisceau, la résine a été testée avec succès sous un équipement de 1 300 faisceaux de Mapper, l’un des partenaires du projet. Les paramètres du procédé ont été définis afin d’assurer un transfert industriel qui pourrait intervenir dès 2018. En parallèle, dans le cadre d’un projet Inter-Carnot en phase de validation finale, le Leti prévoit d’évaluer d’autres résines non amplifiées avec l’université de Mulhouse.
https://www-leti.cea.fr/fr
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