Les USA veulent empêcher la Chine d’accéder à la lithographie EUV

14 janvier 2020

Par eeNews Europe

Il a été rapporté en novembre 2019 qu’ASML n’avait pas été en mesure d’expédier une machine de lithographie EUV à Semiconductor Manufacturing International Corp. (Shanghai, Chine) car une licence d’exportation à double usage avait expiré (voir ASML delays Chinese delivery of EUV lithography tool ).

Le double usage fait référence à la possibilité d’utiliser une technologie pour des applications commerciales et militaires. La privation de l’accès à la fabrication de semiconducteurs en utilisant la lithographie EUV maintient de fait la capacité de fabrication de puces chinoise derrière les technologies de pointe dans la fabrication de puces. EUVL est utilisé pour la fabrication de puces à une géométrie de moins de 10 nm. À l’heure actuelle, les sociétés de puces chinoises et les entreprises telles que Huawei n’ont accès à une technologie de pointe qu’en achetant des puces à la fonderie TSMC à Taiwan.

Reuters a rapporté que des responsables américains jusque et y compris le secrétaire d’État Mike Pompeo ont fait pression sur le gouvernement néerlandais de fin 2018 à mi-2019 pour ne pas autoriser l’exportation d’un premier stepper de lithographie EUV, bien que l’octroi de la licence d’exportation soit de la compétence du gouvernement néerlandais. .

Ces exportations à double usage sont couvertes par l’accord de Wassenaar qui, en 1996, a remplacé le Comité de coordination pour le contrôle des exportations multilatérales de l’ère de la guerre froide (COCOM). À cette époque, les États-Unis et l’Occident étaient tellement en avance sur l’URSS et la Chine que certaines restrictions ont pu être levées.

En vertu de l’accord de Wassenaaar, les États-Unis peuvent bloquer l’exportation d’équipements dont les composants américains représentent plus de 25% du contenu. Le rapport Reuters indique que dans le cas des machines de lithographie ASML, ce n’est pas le cas.

à suivre

Reuters a déclaré qu’en juillet 2019, le conseiller adjoint à la sécurité nationale, Charles Kupperman, avait remis au Premier ministre néerlandais Mark Rutte un rapport des services de renseignements sur les répercussions potentielles de l’accès de la Chine à la lithographie EUML.

La licence d’exportation avait expiré le 30 juin 2019 et aucune nouvelle licence n’a été accordée au cours des huit semaines suivantes au cours desquelles un renouvellement serait normalement accordé.
Le rapport de Reuters ajoute que l’administration américaine a déclaré qu’elle envisageait de réduire l’exigence de pourcentage en vertu de Wassenaar pour certains types d’équipements.

Bien que l’outil de lithographie EUV puisse coûter jusqu’à 100 millions de dollars, ASML est un fournisseur en quasi monopole d’équipements de lithographie et réalise d’importantes ventes en Chine pour les générations précédentes d’équipements.

Le principal fournisseur chinois d’équipements de fabrication de semiconducteurs est Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Chine (AMEC) avec une expertise à la fois dans le matériel de gravure et le MOCVD.