Ce tout nouveau système d’inspection est capable d’identifier à l’échelle nanoscopique la taille et l’emplacement de défauts à l’intérieur des matériaux semiconducteurs composés et des substrats transparents. Il améliore les performances et optimise le coût de la détection de défauts à l’intérieur des matériaux des catégories III-V en aidant à assurer le contrôle qualité des substrats avancés de grande valeur qui sont utilisés dans plusieurs marchés à forte croissance, dont ceux de la fabrication de Led à haute luminosité, des semi-conducteurs de puissance et des circuits intégrés 3D. <\/p>\n
Avec Orion Lightspeed , l’inspection a lieu à l’aide de la technologie synchrone et breveté Doppler detection™ qui détermine la taille et la position exactes des défauts par des mesures physiques directes avec une résolution inférieure à 100 nm. Cette méthode permet une mesure réelle des défauts, alors que d’autres équipements d’inspection se contentent de mesures indirectes, par lumière diffractée, pour calculer la taille approximative des défauts.<\/p>\n